拉晶爐配置UPS電源
近年來,國家不斷出臺產(chǎn)業(yè)政策,支持半導(dǎo)體和光伏行業(yè)的發(fā)展。在國家政策的推動下,中國半導(dǎo)體、光伏等行業(yè)得到快速發(fā)展,對大尺寸半導(dǎo)體晶圓的市場需求也在快速增長。
拉晶爐是晶體硅生長設(shè)備的一種,主要由用于生產(chǎn)合成硅材料的機(jī)械爐室、電器控制柜和主要的石墨熱場系統(tǒng)等構(gòu)成;其主要運(yùn)行原理是通過石墨熱場在機(jī)械爐室內(nèi)把硅料熔化成液態(tài),在電器控制柜的自動控制下在主爐室內(nèi)合成制備凝結(jié)成單晶硅棒,所以對電氣控制配配置UPS不間斷保護(hù)電源就尤為重要。
電控柜電源系統(tǒng)用于系統(tǒng)總電源過流保護(hù)及管理,功率電源柜輸出的交流220V 為電控柜提供總電源,由UPS電源后輸出。UPS空開用于UPS輸出過流保護(hù)及管理??傠娫瓷想姴⒑仙峡傠娫纯臻_之后,UPS會自動啟動。
電控柜設(shè)置了大量端子排用于集中管理各類信號,包括主控電源,系統(tǒng)開關(guān)信號和部分模擬信號,還有晶體運(yùn)動控制信號,坩堝運(yùn)動控制信號及與PLC輸入輸出點(diǎn)連接的信號,所以客戶在其拉晶爐前段配置UPS不間斷電源,來保護(hù)設(shè)備的連續(xù)正常運(yùn)行,避免突然斷電帶來的損失;一般來說,電源的配備原則是1kva或者2kva 的UPS電源方案。
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