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UPS電源主要用在半導(dǎo)體生產(chǎn)的哪些環(huán)節(jié)？
UPS電源主要用在半導(dǎo)體生產(chǎn)的哪些環(huán)節(jié)？
UPS電源可以保證半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中免受電力問題干擾，為關(guān)鍵性設(shè)備供電，提高設(shè)備安全，滿足高可靠性要求，保持設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性。那么，有哪些半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)是需要配置UPS電源的呢？
半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)主要分為8個，分別是晶圓加工-氧化-光刻-刻蝕-薄膜沉積-互連-測試-封裝，其中晶圓加工環(huán)節(jié)是大量使用UPS電源的環(huán)節(jié)。在晶圓加工環(huán)節(jié)中，包含刻蝕、光刻、氧化擴(kuò)散、單晶爐、沉積、拋光、清洗等環(huán)節(jié)，內(nèi)涵大量工業(yè)型精密設(shè)備，有些設(shè)備甚至是進(jìn)口的，隨隨便便一臺都要幾十甚至幾百萬的價(jià)格。這些設(shè)備都是按照國網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)，對用電環(huán)境要求極高，而我國的電網(wǎng)環(huán)境并不是時(shí)刻安全，自然災(zāi)害、發(fā)電側(cè)、負(fù)荷側(cè)引起的電力故障時(shí)有發(fā)生。所以，為了保證設(shè)備的安全，大部分廠家都會配置UPS電源。
UPS電源可以有效解決電壓突變、電壓波動、頻率漂移、電壓跌落、脈沖干擾、雷擊尖峰、浪涌、頻率震蕩等8大電力問題，保障設(shè)備安全運(yùn)行。
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